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等離子表面處理儀

更新時(shí)間:2024-05-07

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簡(jiǎn)要描述:

供應SAT 210等離子表面處理儀,等離子表面處理儀
1.實(shí)時(shí)檢測和顯示真空度,真空度準確使得機器在智能控制下有了可靠的依據。
2.設備自動(dòng)模式下:真空啟動(dòng)值可以自由設定(范圍:1—80帕)這樣就為外加氣體提供了可靠的輝光啟動(dòng)環(huán)境,使得輝光保持更高純度,有力的保證了實(shí)驗效果的準確性和可靠性。
3.艙體、管路、閥體全部為不銹鋼材料,耐用防低腐蝕。
4.采用電容式 Plasma激發(fā),實(shí)驗效果穩定,均勻可靠,電極板置于樣品倉內頂部懸掛.

品牌賽奧特(SAT)品牌賽奧特(SAT)
經(jīng)營(yíng)方式廠(chǎng)家直銷(xiāo)

                                             SAT 210  等離子表面處理儀

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應用領(lǐng)域

適用于材料科學(xué)、光學(xué)、光電子學(xué)、生命科學(xué)、電子學(xué)、生物醫學(xué)、半導體、高分子科學(xué)、微觀(guān)流體學(xué)等領(lǐng)域.

主要實(shí)驗應用

  1.表面清潔 2.表面活化 3.鍵合 4.去膠 5.金屬還原 6.簡(jiǎn)單刻蝕 7.去除表面有機物  8.疏水實(shí)驗  9.沉積實(shí)驗  10.形成新的基團  11.鍍膜前處理等

技術(shù)特點(diǎn)

1.實(shí)時(shí)檢測和顯示真空度,使得設備在智能控制下有了可靠的依據.

2.真空值可自由設定,(范圍:10—60)為外加氣體提供了可靠的輝光啟動(dòng)環(huán)境,為輝光純度提供了有利的保障,保證了實(shí)驗效果的準確性和可靠性.

3.真空腔體采用鉸鏈側開(kāi)門(mén)結構,帶有觀(guān)察窗,材料為6061材質(zhì).

4.腔體、管路、閥體全部為不銹鋼材料.

5.電容式(CCP)激發(fā),實(shí)驗效果穩定,均勻可靠,電極板置于樣品倉內頂部懸掛.

6.采用觸摸屏顯示控制,手動(dòng),自動(dòng)兩種模式任意切換.

7.程序化設計,預先編輯好程序,儀器自動(dòng)完成實(shí)驗.

8.利用氣體電離后產(chǎn)生的等離子體的反應活性與材料表面發(fā)生的物理或者化學(xué)反應,使材料表面成分、組成和結構發(fā)生變化,并能得到某些特定的基團。

9.無(wú)需耗材,使用成本低,無(wú)需特殊進(jìn)行維護,在日常使用中保持儀器清潔即可。

等離子表面處理儀技術(shù)規格

1.樣品腔體尺寸:255(深度)X110(直徑)mm ,不銹鋼材質(zhì).

2.放置樣品托盤(pán)尺寸:105()X230(長(cháng))mm,材質(zhì):6061鋁氧化本色

3.射頻頻率:40KHz .

4.射頻功率:200W,0200W可調,精度:1.

5.輝光放電功率:10W--200W

6.輝光放電時(shí)間設定:1秒到9959.

7.氣路設置:3氣路(2路進(jìn)氣,一路放空).

8.工作氣體穩定時(shí)間:可調,可設定,范圍:0--180.

9.進(jìn)氣控制:兩路浮子流量計控制

10.工作氣體:空氣\氮氣\氬氣\氮氫混合氣\氬氦混合氣等均可; 也可接入無(wú)腐蝕性、無(wú)毒的工作液體溶液,例如:六甲基二硅氧烷(HMDSO),接入工作液體需要選配接枝儀來(lái)配套使用。

11.進(jìn)氣壓力:通入空氣時(shí)常壓,接入鋼瓶時(shí),鋼瓶進(jìn)氣壓力調整到0.1-0.2Mpa

12.供電電源:~220V50Hz

13.外形尺寸(寬**高)mm:440ⅹ490ⅹ485

14.整機重量(約):20Kg

真空泵  

標準配置為機械油泵:1)抽速:2/2)極限壓強:6*10-2   3)噪音;≤66db 4)抽氣KF16法蘭接口,排氣口KF25接口 5)電源線(xiàn)為陰插線(xiàn)

基本配置

主機+真空系統(雙極機械真空油泵、油霧過(guò)濾器、真空管、KF16法蘭)、外加氣體軟管、樣品托盤(pán)、說(shuō)明書(shū)、電源線(xiàn)、合格證

七 選配件

(一)機械油泵 型號:VRD-8

1.抽速:2.2/  2.極限壓強:≤5*10-2  3.噪音;≤56db   4.工作環(huán)境溫度:5—45

(二)干泵(1  型號:GWSP150

1.抽速:2/  2.極限壓強:≤6 3.噪音;≤57db  4.工作環(huán)境溫度:5--45℃

  干泵(2)型號: SPH10

1.抽速:2.8/ 2.極限壓強:≤2  3.噪音;≤55db

4.工作環(huán)境溫度:5--45℃

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八  操作方法
 
1、準備工作:首先需檢查設備是否正常,確認所有連接線(xiàn)路是否牢固。開(kāi)啟氣源和電源,并進(jìn)行預熱等操作。
 
2、樣品處理:將待處理的樣品放置于等離子體區域內,對其進(jìn)行清潔處理以去除表面污物和水分??梢允褂没瘜W(xué)溶液、超聲波浴等方式進(jìn)行清洗。
 
3、等離子體處理:開(kāi)啟等離子體電源,通過(guò)調節電壓、頻率等參數控制等離子體的形成和強度。進(jìn)行等離子體表面處理,一般處理時(shí)間在數分鐘到數小時(shí)之間。
 
4、停止處理:處理完成后,關(guān)閉電源和氣源,切勿直接取出樣品。需先關(guān)閉等離子體電源,停止等離子體的產(chǎn)生,等待等離子體消散后再取出樣品。
 
5、清洗維護:處理完畢后需要對設備進(jìn)行清洗和維護,防止殘留的化學(xué)物質(zhì)對設備造成損壞或影響下次使用效果。

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